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產(chǎn)品詳細頁
微量氣體分析儀

微量氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號:GA-360E
  • 更新時間:2024-03-18
  • 產(chǎn)品介紹:微量氣體分析儀
    它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 (檢測感度可至10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式,可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測,所以沒有零點漂移,能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中,所以系統(tǒng)升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理 。
  • 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339

產(chǎn)品介紹

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分,2種成分可同時以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動調制方式,沒有零點漂移,可以獲得長期穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。

不需要進行光學調整,維護性得到了提高。

由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能,所以能夠迅速地在發(fā)生異常時采取措施。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品技術規(guī)格

測量原理

GA-360E:交替流動調制方式非分散紅外線分析法

GA-360E

交替流動調制方式火焰電離檢驗方法

檢測對象氣體

GA-360E:CO/CO2/CH4內可選取2種成分

檢測量程

GA-360E:0?1/2/5/10ppm

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